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1200℃旋轉(zhuǎn)CVD管式爐

1200℃旋轉(zhuǎn)CVD管式爐

簡(jiǎn)要描述:OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個(gè)加熱區(qū),可提高溫度均勻性,同時(shí)配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設(shè)計(jì)主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。
OTF-1200X-5L-R-CVD 1200℃旋轉(zhuǎn)CVD管式爐

產(chǎn)品型號(hào): OTF-1200X-5L-R-CVD

所屬分類:旋轉(zhuǎn)管式爐

更新時(shí)間:2023-11-06

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹

OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個(gè)加熱區(qū),可提高溫度均勻性,同時(shí)配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設(shè)計(jì)主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。

OTF-1200X-5L-R-CVD 1200℃旋轉(zhuǎn)CVD管式爐

性能指標(biāo)和基本配置
爐膛結(jié)構(gòu)● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)
● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命)
● 一個(gè)直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)爐管轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)速為可調(diào)
● 爐體開啟式設(shè)計(jì),方便更換爐管
● 爐體可以傾斜,傾斜角度可調(diào)
● 設(shè)有開門斷電功能,提高實(shí)驗(yàn)安全性
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基本參數(shù)● 溫度:1100℃(1200℃<1h)
● 建議升溫速率:≤10℃/min
● 熱偶:K型熱偶
● 電源:AC208-240,50Hz 最大4KW
● 加熱區(qū)長度:600mm 三溫區(qū):150mm+300mm+150mm
爐管和法蘭● 異型石英管,內(nèi)部焊接有揚(yáng)料板,使粉體燒結(jié)更加充分和均勻
● 尺寸:100 mm OD x 1200 mm L (異型管)
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加熱元件● 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命)
溫控系統(tǒng)● 三個(gè)溫區(qū)分別有三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制
● 包含一款YD518P型溫度控制器
● PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)
● 智能化30段可編程控制
● 控溫精度:±1℃
● 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口
● 通過MET認(rèn)證
● 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)
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爐體傾斜角度● 可調(diào)范圍:-5° - 25°
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氣密配件● 用磁流體法蘭密封
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進(jìn)氣系統(tǒng)● 四通道精密氣體混合和輸送系統(tǒng),配有觸摸屏,用于1-4種氣體CVD
● 注意:如果通入的是易燃易爆型氣體,必須將設(shè)備安裝在通風(fēng)柜中
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外形尺寸● 1950mmL X 600mmW X 1320mmH
● 混氣系統(tǒng):600mmL X 750mmW X 700mmH
設(shè)備凈重● 回轉(zhuǎn)爐:約130 Kg
使用提示● 此套設(shè)備可以配合本公司連續(xù)送料裝置來達(dá)到連續(xù)進(jìn)料的效果(圖一、二)
● 對(duì)于CVD系統(tǒng),您可以選擇我們的多通道進(jìn)氣系統(tǒng)(圖三)
● 在收集粉末時(shí)需要在密封容器中傳送的情況下,可以在我公司購買與爐管一起安裝的密封裝置。這種裝置包括帶內(nèi)螺紋法蘭、柔性波紋管、直角管、帶有蝶形閥的容器和支撐架??蛻艨梢院芎?jiǎn)單的將帶有蝶閥的收集罐與設(shè)備斷開鏈接,并在運(yùn)輸過程保持密封。點(diǎn)擊下列圖片查看詳情(圖三)
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真空系統(tǒng)● 通過機(jī)械泵可達(dá)到10E-2 Torr
● 通過分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr

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● 可選購一個(gè)冷真空阱,以避免真空泵造成污染

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質(zhì)保期● 一年保修,終身技術(shù)支持。
● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
             2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
質(zhì)量認(rèn)證● 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
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使用注意事項(xiàng)● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
● 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
● 石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃
● 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)




OTF-1200X-5L-R-CVD 1200℃旋轉(zhuǎn)CVD管式爐

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