OTF-1200X-II-HPV是一款1100℃雙溫區(qū)立式高溫高壓爐,爐管采用鎳基合金鋼管制作,具有較高的蠕變強(qiáng)度和抗氧化性。爐管可承受的最高溫度為1100℃(在此溫度下可承受的壓力為3MPa).此款設(shè)備適合用水浴法制備材料,也特別適合在高壓氧環(huán)境下對樣品進(jìn)行熱處理。法蘭上安裝有電磁閥,當(dāng)爐管內(nèi)壓力高于設(shè)定值時,電磁發(fā)自動打開排出氣體減小管內(nèi)氣壓。
GSL-1800X-III是一款1800℃三溫區(qū)管式爐,采用進(jìn)口 Kathal Super-1900C 硅鉬棒作為加熱元件,以氧化鋁纖維板作為爐膛材料,并且內(nèi)部嵌有氧化鋯纖維。儀器配有60*1200mm的剛玉管和一套不銹鋼法蘭,法蘭上開有dia30mm的石英窗口,以供客戶使用。
GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。 GSL-1700X-III-F3LV 1700℃三溫區(qū)管式爐
OTF-1200X-Ⅱ-S2是一款雙溫區(qū)帶有升降雙通道進(jìn)料系統(tǒng)的共蒸發(fā)多層沉積管式爐,通過升降雙通道進(jìn)料系統(tǒng)可裝載4個不同材料的蒸發(fā)坩堝舟,并且可一次同時送入兩個蒸發(fā)坩堝源進(jìn)入管式爐中進(jìn)行共蒸發(fā)或反應(yīng)蒸發(fā)。雙溫區(qū)管式爐可以實現(xiàn)快速加熱,并且通過對各個溫區(qū)設(shè)置不同的加熱溫度可以創(chuàng)建不同的溫度梯度從而實現(xiàn)蒸發(fā)沉積。 OTF-1200X-Ⅱ-S2 1200℃多坩堝同時移動型管式爐
OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個加熱區(qū),可提高溫度均勻性,同時配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設(shè)計主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。 OTF-1200X-5L-R-CVD 1200℃旋轉(zhuǎn)CVD管式爐