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紫外臭氧清洗機(jī)
簡(jiǎn)要描述：應(yīng)用范圍：PCE-22-LD是一款可加熱的紫外臭氧清洗機(jī)，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤(rùn)濕性，清洗SEM＆TEM，紫外對(duì)聚合物改性等。紫外臭氧清洗提供了一種無(wú)酸、干燥對(duì)材料無(wú)損傷的原子級(jí)別清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物，紫外燈主要發(fā)出兩種波長(zhǎng)的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌魵?/p>
產(chǎn)品型號(hào)： PCE-22-LD
所屬分類：鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備
更新時(shí)間：2024-11-06
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
詳情介紹
PCE-22-LD是一款可加熱的紫外臭氧清洗機(jī)，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤(rùn)濕性，清洗SEM＆TEM，紫外對(duì)聚合物改性等。紫外臭氧清洗提供了一種無(wú)酸、干燥對(duì)材料無(wú)損傷的原子級(jí)別清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物，紫外燈主要發(fā)出兩種波長(zhǎng)的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌魵猓?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長(zhǎng)的光組合可有效的清除有機(jī)化合物。
| 功能特點(diǎn) |
|---|
僅室內(nèi)使用；海拔高度5500英尺以內(nèi)；
溫度范圍：5-40℃；
最大相對(duì)濕度80%，最高30.5℃，40℃線性降至50%相對(duì)濕度；
主電源波動(dòng)不超過(guò)額定電壓的10%；
污染等級(jí)2；臭氧水平（環(huán)境）測(cè)量＜45ppb；
可去除分子級(jí)別的污染物；
可清洗MEMS器件；
可清洗各種基片，如si,Ge,GaAs和各種氧化物單晶基片。
紫外臭氧清洗機(jī)
| 技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 電源 | 單相AC220V±10%，頻率：50Hz/60Hz，功率約1KW |
| 工作環(huán)境 | 室內(nèi)使用，溫度：5～40℃，最大相對(duì)濕度80%，海拔5500英尺以內(nèi) |
| 腔體&樣品臺(tái) | 不銹鋼殼體 抽屜式樣品臺(tái)，以便放樣取樣 基片臺(tái)尺寸：310mm*320mm 臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上 樣品臺(tái)與紫外燈的距離：20mm-40mm范圍內(nèi)可調(diào) 樣品臺(tái)可以加熱，最高溫度可達(dá)150℃ 可設(shè)置8段升降溫程序，控溫精度為±1℃ 照射設(shè)定時(shí)間：1min-9999min |
| 觸摸屏＆加熱 | 4.5英寸觸摸屏控制加熱和清洗功能 點(diǎn)擊觸摸屏上的“溫控程序"即可進(jìn)入程序設(shè)置界面，內(nèi)置溫控儀表采用PID方式調(diào)節(jié)，可設(shè)置30段升溫程序，設(shè)備只顯示8段升溫程序，可根據(jù)實(shí)際要求進(jìn)行添加 設(shè)備加熱前需進(jìn)行預(yù)熱處理 |
| 排氣口 | 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端 將鋁波紋管與排氣口連接，將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外 橡膠管長(zhǎng)度8米  |
| 紫外燈 | UV燈管： 功率：210W 發(fā)出光的波長(zhǎng)：254nm和185nm 照射區(qū)域：200*200mm 可以清潔直徑最大為12英寸×35mm的晶體晶片 |
| 外形尺寸 | 約L550*W520*H335mm |
| 重量 | 約30kg |
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